Для микрообработки наиболее часто используют твердотельные лазеры с диодной накачкой, волоконные лазеры и эксимерные импульсные лазеры. Для микрообработки почти всегда применяются импульсные лазеры, поскольку они обеспечивают лучший контроль передачи энергии, чем непрерывные лазеры, которые могут легко расплавить, и тем самым повредить, микроэлементы.
Кроме того, возможность управлять частотой повторения импульсов и их энергией в импульсных лазерах обеспечивает процессу микрообработки дополнительную гибкость. Также можно отметить, что более короткие длины волн являются предпочтительными для обработки изделий малых размеров.
Твердотельные лазеры для микрообработки следующие. Nd: YAG - лазеры с диодной накачкой и модуляцией добротности, работающие на длине волны 1064 нм (ближний ИК) и их гармоники 532 нм (видимый), 355 нм (ближний УФ) и 266 нм (УФ).
Импульсные волоконные лазеры на стекле, легированном иттербием, работающие на длине волны 1070 нм. Эксимерные лазеры, работающие в УФ - диапазоне.
Обычно используют эксимерные:
Большинство лазеров, предназначенных для микрообработки, имеют энергию импульса в диапазоне 1-500 мДж, длительность импульса от 10 не до 10 мс, частоту повторения импульсов в диапазоне от 10 Гц до 500 кГц и среднюю мощность излучения 1-100 Вт.
Кроме того, возможность управлять частотой повторения импульсов и их энергией в импульсных лазерах обеспечивает процессу микрообработки дополнительную гибкость. Также можно отметить, что более короткие длины волн являются предпочтительными для обработки изделий малых размеров.
Твердотельные лазеры для микрообработки следующие. Nd: YAG - лазеры с диодной накачкой и модуляцией добротности, работающие на длине волны 1064 нм (ближний ИК) и их гармоники 532 нм (видимый), 355 нм (ближний УФ) и 266 нм (УФ).
Импульсные волоконные лазеры на стекле, легированном иттербием, работающие на длине волны 1070 нм. Эксимерные лазеры, работающие в УФ - диапазоне.
Обычно используют эксимерные:
- ArF - лазеры, работающие на длине волны 193 нм
- KrF - лазеры, работающие на длине волны 248 нм
- XeCl - лазеры, работающие на длине волны 308 нм
- XeF - лазеры, работающие на длине волны 351 нм.
Большинство лазеров, предназначенных для микрообработки, имеют энергию импульса в диапазоне 1-500 мДж, длительность импульса от 10 не до 10 мс, частоту повторения импульсов в диапазоне от 10 Гц до 500 кГц и среднюю мощность излучения 1-100 Вт.